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年計畫經費

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落後原因分析

大致依規劃進行中，各查核點皆如期達成，惟有部分購案因洽商議價時程延長，決標時程或購案交期延長，無法如期到貨造成部分保留款

機關因應對策

雖疫情因素影響已逐漸減低，然因為全球航運阻塞、原物料供貨緊張、通貨膨脹、俄烏戰爭衝擊全球供應鏈，使得許多元件和材料供應商皆反應可能無法如期到貨。另，因國際原物料上漲與匯率波動導致取得國外廠商合理報價困難，雙方議價時間耗時，致部分購案較為延遲。中心未來除繼續追蹤相關料件供貨情形，也將許多購案提早採購，或尋求不同供應商支援，冀望能舒緩影響程度。此外，部分到貨元件經測試後不符驗收條件(如32A多通道SDD螢光偵測器、鍍膜光學鏡)皆退回國外廠商限期改善，將延至112年驗收安裝。

年度目標

完成第二階段之微米晶體結構解析光束線實驗設施(TPS 15A)基本建置與進行試車，以及開放奈米X光顯微術實驗設施(TPS 31A)使用。

重要執行成果

計畫亮點:「1.柔X光吸收光譜(TPS 32A)光束線實驗站之設計概念，除已於2021年發表於真空科技期刊34-4期；並發表於2022年Journal of Physics: Conference Series(14th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI 2021))。柔X光光束線將可提供穩定純淨的高光通量的特殊光子能量範圍之連續可調之X光光源，柔X光吸收光譜實驗站的規劃，係預期未來將為物理、化學、材料、地質、環境、生醫等各領域之尖端科學研究，提供重要的光譜分析技術與研究契機。 2.高解析X光光譜(TPS 47A)光束線為我國第一條設計高解析吸收光譜實驗站與高能光電子發射能譜實驗站，將可以提供用戶在半導體、能源材料研發、物理、化學與材料學術研究，符合政府近年推動之科技政策(半導體、綠能科技)。3.X光吸收光譜(TPS 38A)光束線採用新一代的快速掃描單光儀，兼具時間分辨率，最佳時間分辨率達0.01秒並配備2塊晶體，將可執行以往無法進行之快速臨場實驗，所可執行之實驗彈性度更大，有助於精準瞭解材料作用機制，特別是對於新興半導體奈米材料與新穎綠能材料研發。」 / 關鍵成果:「1.室壓/真空光電子能譜(TPS 43A)成功使用低熱膨脹絕緣材料(SiN3)開發新型入口狹縫，並先行於TPS 45A上線測試，發現在TPS 45A ID EPU 46插件磁鐵能量為1000eV之條件下，新型狹縫之熱膨脹量降為舊式狹縫的一半，證實使用低熱膨脹陶瓷材料於光束線元件上，可明顯降低因溫度變化所造成之材料熱膨脹，進而確保光學系統性能的穩定性，此項技術開發將應用於TPS多條軟X光光束線。 2.自行設計室壓/真空光電子能譜光束線(TPS 43A)水平聚焦鏡(HFM)水冷與bending作動機制系統，將用於大尺寸HFM鏡片(296 mm)，使HFM鏡片能接光的面積增加，此設計未來可廣泛用於三期軟光光束線上取代目前SESO製造的水冷HFM系統。3.自行設計龍光束線(TPS 33A)光束線的真空臨場長程光學鏡面型量測儀，其為光束線上重要的量測設備，可即時臨場量測光學鏡面在同步輻射光照射下之熱變形量，搭配多點式光學鏡面行調整機構結合，將面形數據轉換並回饋給調整機構來消除熱變形，無需將光學鏡移出真空腔體下便可即時調整光學鏡，兩項創新的技術並結合使用，可大幅提升光束線的性能。4.軟X光吸收能譜(TPS 35A)光束線超高真空光學腔體所使用的長條形石英光窗法蘭，由於應力集中，比圓型光窗難製作。在市場上難以取得。其配合第二季所開發的真空密封技術，氦氣漏率≤ 5.5x10-11mbar•l/s，可應用於超高真空系統，對未來鏡片清碳及臨場測量帶來便利性。」